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龙图腾网恭喜安徽国芯智能装备有限公司申请的专利一种光刻机取料平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119916653B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510410467.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机取料平台是由王运钢;章广飞;薛业宝设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机取料平台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻机取料平台，涉及光刻机技术领域，包括移料座以及可控制移料座沿着直线路径移动的丝杠滑台，所述移料座上方设有平行分布的掩膜版载板和硅片载板，当移料座滑移至取料位置时，掩膜版载板和硅片载板可朝向相反方向转动至移料座的两侧。所述移料座的两侧分别设有可升、降运动的取料座一和取料座二，随着取料座一和取料座二的上升，可分别将掩膜版与硅片顶出至掩膜版载板与硅片载板上方。本发明中的掩膜版载板和硅片载板位于取料工位时，可朝向相反方向转动至移料座的两侧，使得掩膜版与硅片全面露出，同时对掩膜版载板和硅片载板实施取料、上料操作，降低了取料、上料操作过程中的阻碍，提升了换料操作的效率。

本发明授权一种光刻机取料平台在权利要求书中公布了：1.一种光刻机取料平台，包括移料座（2）以及可控制移料座（2）沿着直线路径移动的丝杠滑台（1），其特征在于：所述移料座（2）上方设有平行分布的掩膜版载板（3）和硅片载板（4），当移料座（2）滑移至取料位置时，掩膜版载板（3）和硅片载板（4）可朝向相反方向转动至移料座（2）的两侧； 所述移料座（2）的两侧分别设有可升、降运动的取料座一（32）和取料座二（42），随着取料座一（32）和取料座二（42）的上升，可分别将掩膜版与硅片顶出至掩膜版载板（3）与硅片载板（4）上方； 所述丝杠滑台（1）的一端设有拦截座（14），所述拦截座（14）靠近移料座（2）的一侧设有两块沿着直线路径对称分布的限位托座（17），当掩膜版载板（3）和硅片载板（4）与移料座（2）滑移至加工位置时，掩膜版载板（3）和硅片载板（4）均滑入限位托座（17）内侧。

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