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龙图腾网恭喜深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利晶圆的吸平整定结构及吸平整定方法、晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905449B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510385459.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权晶圆的吸平整定结构及吸平整定方法、晶圆检测装置是由欧晓永;庞华贵;吴达绕设计研发完成，并于2025-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆的吸平整定结构及吸平整定方法、晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆的吸平整定结构及吸平整定方法、晶圆检测装置，吸平整定结构包括底板、承载板、升降旋转模组、吸平模组和整定模组，承载板用于承载晶圆，升降旋转模组包括旋转机构和升降机构，旋转机构用于承载晶圆，吸平模组能够吸附晶圆并沿第一方向往复移动，以将晶圆吸平于承载板上，能够保证晶圆的平整性，方便对于晶圆进行预对准的定位、扫码等操作，整定模组的第一整定机构、第二整定机构、第三整定机构和第四整定机构环绕承载板设置且分别设于承载板的四周，整定模组能够沿靠近承载板中心的所在侧移动，以将承载板上的晶圆进行整定居中，能够有效校正晶圆的位置，并方便后续对晶圆的运输及检测。

本发明授权晶圆的吸平整定结构及吸平整定方法、晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的吸平整定结构，其特征在于，包括： 底板； 承载板，所述承载板设于所述底板上且和所述底板间隔设置，所述承载板用于承载晶圆； 升降旋转模组，所述升降旋转模组设于所述底板上，所述升降旋转模组包括旋转机构和升降机构，所述旋转机构用于承载所述晶圆并带动所述晶圆相对所述底板转动，所述升降机构用于承载所述旋转机构，并带动所述旋转机构沿第一方向往复移动，所述第一方向垂直于所述底板； 吸平模组，所述吸平模组设于所述底板上，所述吸平模组至少部分穿设所述承载板和所述底板，所述吸平模组用于承载并吸平所述晶圆，所述吸平模组能够沿所述第一方向往复移动，以将所述晶圆吸平设于所述承载板上，所述吸平模组包括间隔设置的第一吸平机构和第二吸平机构，所述第一吸平机构和所述第二吸平机构设于所述底板背离所述承载板的一侧；所述第一吸平机构包括第一升降气缸、第一固定组件、第一吸平件和第二吸平件，所述第一升降气缸用于带动所述第一固定组件沿所述第一方向移动，所述第一吸平件和所述第二吸平件设于所述第一固定组件的两端，且所述第一吸平件和所述第二吸平件穿设所述底板和所述承载板，所述第一吸平件和所述第二吸平件用于吸附所述晶圆；所述第二吸平机构包括第二升降气缸、第二固定组件、第三吸平件和第四吸平件，所述第二升降气缸用于带动所述第二固定组件沿所述第一方向移动，所述第三吸平件和所述第四吸平件设于所述第二固定组件的两端，且所述第三吸平件和所述第四吸平件穿设所述底板和所述承载板，所述第三吸平件和所述第四吸平件用于吸附所述晶圆；以及 整定模组，所述整定模组设于所述底板上，所述整定模组包括第一整定机构、第二整定机构、第三整定机构和第四整定机构，所述第一整定机构、所述第二整定机构、所述第三整定机构和所述第四整定机构环绕所述承载板设置且分别设于所述承载板的四周，所述第一整定机构、所述第二整定机构、所述第三整定机构和所述第四整定机构皆可用于沿靠近所述承载板中心的所在侧移动，以将所述承载板上的所述晶圆进行整定。

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