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龙图腾网获悉深圳市新晶路电子科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗烘干装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119694953B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510198239.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆清洗烘干装置是由谢亮春;郭康俊;吴泽晓设计研发完成，并于2025-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗烘干装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体加工的技术领域，提供了一种晶圆清洗烘干装置，其包括箱体、设置于箱体内用于供晶圆放置的放置机构、设置于箱体内以用于对位于放置机构上的晶圆清洗的清洗机构、用于对清洗后的晶圆的两面进行烘干的烘干机构以及分别与清洗机构和烘干机构电连接的控制机构；所述放置机构沿箱体的高度方向间隔至少设置有两个，所述放置机构包括两个沿箱体的高度方向呈对称设置的放置板、两个分别带动两个放置板转动的第一驱动组件、两组分别转动连接于两个放置板相互靠近的表面的转动板以及用于驱动转动板转动的第二驱动组件，本申请具有提高对晶圆的处理效率的有益效果。

本发明授权一种晶圆清洗烘干装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗烘干装置，其特征在于：包括箱体（1）、设置于箱体（1）内用于供晶圆放置的放置机构（2）、设置于箱体（1）内以用于对位于放置机构（2）上的晶圆清洗的清洗机构（3）、用于对清洗后的晶圆的两面进行烘干的烘干机构（4）以及分别与清洗机构（3）和烘干机构（4）电连接的控制机构；所述放置机构（2）沿箱体（1）的高度方向至少间隔设置有两个，所述放置机构（2）包括两个沿箱体（1）的高度方向呈对称设置的放置板（21）、两个分别带动两个放置板（21）转动的第一驱动组件（22）、两组分别转动连接于两个放置板（21）相互靠近的表面的转动板（23）以及用于驱动转动板（23）转动的第二驱动组件（24），两个所述放置板（21）的下端朝相互靠近的方向倾斜设置，放置板（21）的上端转动连接于箱体（1），所述第一驱动组件（22）和第二驱动组件（24）均电连接于控制机构，两个放置机构（2）之间设置有用于使得晶圆翻面的翻转组件（5）；所述转动板（23）的外表面开设有吸附口（231），所述转动板（23）内开设有连通于吸附口（231）的腔室（232），所述转动板（23）上设置有用于使得腔室（232）内呈负压状态的负压组件（14），所述负压组件（14）电连接于控制机构；所述烘干机构（4）设置于放置机构（2）的下方，所述箱体（1）位于放置机构（2）和烘干机构（4）之间设置有用于阻挡清洗机构（3）在对晶圆清洗时的清洗剂和水的阻挡组件（6）。

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