青岛金汇源电子有限公司徐海涛获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛金汇源电子有限公司申请的专利一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119374376B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411959188.2,技术领域涉及:F27D3/00;该发明授权一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置是由徐海涛;程文娟;张光展;李德鹏;李中亮设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置在说明书摘要公布了:本发明涉及出炉装置技术领域,具体的说是一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置,包括机体,所述机体的内侧设置有加热炉,所述加热炉的内部贯穿安装有多个输风管;所述加热炉远离出口的一侧内壁固定安装有两个导向杆,所述导向杆的设置有套管,所述套管的顶部设置有卡接机构,所述卡接机构包括有卡接板,所述放置腔的内侧靠近出口的位置设置有支板,所述支板的内侧设置有前封机构,所述前封机构包括有两个半封板;本发明通过采用了双重密封机构,使得圆硅片在推出的过程中,对加热炉以及出口进行密封,且在推回的过程中能够自动复位,降低了能量的消耗,使放置腔和加热腔内侧的稳定和气体保持稳定,提高了圆硅片的加工效果。
本发明授权一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置在权利要求书中公布了:1.一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置,包括机体1,所述机体1的内侧开设有放置腔2,所述机体1的一侧贯穿开设有出口3,其特征在于:所述机体1的内侧设置有加热炉12,所述加热炉12的内部贯穿安装有多个输风管13;所述加热炉12远离出口3的一侧内壁固定安装有两个导向杆14,所述导向杆14的外侧滑动装套有活动封板15,所述活动封板15靠近出口3的一侧固定安装有卡接杆16,所述导向杆14的外侧滑动设置有套管7,所述套管7的顶部放置有多个圆硅片10,所述套管7的顶部设置有卡接机构17,所述卡接机构17包括有卡接板1704,所述放置腔2的内侧靠近出口3的位置设置有支板23,所述支板23的内侧设置有前封机构26,所述前封机构26包括有两个半封板2604; 卡接机构17,其被装配为通过卡接板1704与卡接杆16的配合改变活动封板15的位置,使活动封板15在取出圆硅片10时能够将加热炉12密封; 前封机构26,其被装配为当取出圆硅片10时,通过两个半封板2604将出口3密封; 所述放置腔2的底壁内侧固定安装有固定台4,固定台4的内部固定安装有两个伸缩杆5,伸缩杆5贯穿机体1的一侧,伸缩杆5的输出端固定安装有前封板6,且前封板6位于机体1的一侧,前封板6用于将出口3密封; 所述套管7的一端与前封板6靠近出口3的一侧固定连接,套管7贯穿位于出口3的内侧,套管7的外侧固定安装有密封板8,所述加热炉12的内侧开设有加热腔,且一侧为开口状态,密封板8与加热炉12的开口一侧接触,密封板8用于将加热炉12密封,套管7的外侧固定安装有多个载物架9,圆硅片10放置于载物架9的顶部; 所述固定台4的顶部固定安装有两个支撑架11,加热炉12固定安装于支撑架11的顶部,输风管13靠近出口3的一端为输入端,输风管13的输入端有多个管口,输风管13的另一端为输出端,输风管13的两端贯穿加热炉12的内部,且输风管13的主体部分位于加热炉12的外侧。
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