恭喜捷捷微电(南通)科技有限公司陆晓波获国家专利权
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龙图腾网恭喜捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种夹持机构及夹持设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223006380U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422149346.X,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种夹持机构及夹持设备是由陆晓波;叶凯;李一华;吴胜荣设计研发完成,并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种夹持机构及夹持设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种夹持机构及夹持设备,涉及半导体设备技术领域。该夹持机构包括夹具本体,夹具本体上设置有至少两个夹持臂,至少两个夹持臂呈相对设置,每个夹持臂均具有伸出至夹具本体外的伸出状态和回缩至夹具本体内的缩回状态,夹持臂处于伸出状态,以使夹具本体罩设于光罩外,夹持臂处于缩回状态,以使夹持臂共同配合承托于光罩外缘的下方。该夹持机构及夹持设备能够拿取光罩,从而避免对光罩造成损坏,操作简单方便,提高了设备故障处理效率。
本实用新型一种夹持机构及夹持设备在权利要求书中公布了:1.一种夹持机构,其特征在于,包括夹具本体,所述夹具本体上设置有至少两个夹持臂,至少两个所述夹持臂呈相对设置,每个所述夹持臂均具有伸出至所述夹具本体外的伸出状态和回缩至所述夹具本体内的缩回状态,所述夹持臂处于伸出状态,以使所述夹具本体罩设于光罩外,所述夹持臂处于缩回状态,以使所述夹持臂共同配合承托于所述光罩外缘的下方。
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