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恭喜深圳基本半导体有限公司温正欣获国家专利权

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龙图腾网恭喜深圳基本半导体有限公司申请的专利一种碳化硅MCT器件及其制造方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114744032B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210230641.0,技术领域涉及:H10D64/27;该发明授权一种碳化硅MCT器件及其制造方法与应用是由温正欣;和巍巍;汪之涵;张学强;喻双柏设计研发完成,并于2022-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种碳化硅MCT器件及其制造方法与应用在说明书摘要公布了:一种碳化硅MCT器件,其从下到上依次包括n型碳化硅衬底1、n型碳化硅缓冲层2、p型漂移层3、n型基区4;n型基区上部从左到右依次设有第一p型沟道区5、p型阳极区7和第二p型沟道区5’,第一p型沟道区5和第二p型沟道区5’分别包裹有第一n型阳极区6和第二n型阳极区6’;n型基区4顶部一侧设有沟槽,沟槽侧壁覆盖有沟槽栅氧化层8,沟槽内部填充第一栅电极9,形成沟槽栅结构;n型基区4顶部另一侧覆盖有平面栅氧化层8’,在平面栅氧化层8’上部填充第二栅电极9,形成平面栅结构。本发明的器件导通性能好,适合作为高压大功率电力电子领域的基础元器件。

本发明授权一种碳化硅MCT器件及其制造方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅MCT器件,其特征在于,所述碳化硅MCT器件从下到上依次包括n型碳化硅衬底(1)、n型碳化硅缓冲层(2)、p型漂移层(3)、n型基区(4);所述n型基区上部从左到右依次设有第一p型沟道区(5)、p型阳极区(7)和第二p型沟道区(5’),所述第一p型沟道区(5)和第二p型沟道区(5’)分别包裹有第一n型阳极区(6)和第二n型阳极区(6’);所述n型基区(4)顶部一侧设有沟槽,所述沟槽侧壁覆盖有沟槽栅氧化层(8),所述沟槽内部填充第一栅电极(9),形成沟槽栅结构;所述n型基区(4)顶部另一侧覆盖有平面栅氧化层(8’),在所述平面栅氧化层(8’)上部填充第二栅电极(9’),形成平面栅结构;所述沟槽栅结构和所述平面栅结构上方均覆盖有介质层(10),所述介质层(10)顶部设有阳极金属(11),所述n型碳化硅衬底(1)背面设有阴极金属(12);所述沟槽深度大于所述n型基区(4)深度,且小于所述p型漂移层(3)深度;所述p型阳极区(7)深度大于所述第一p型沟道区(5)和所述第二p型沟道区(5’)深度,且小于所述n型基区(4)深度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳基本半导体有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处秀新社区锦绣中路14号深福保现代光学厂区B栋201;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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