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龙图腾网获悉浙江老鹰半导体技术有限公司申请的专利垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法、芯片、激光雷达获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119447985B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411672609.3，技术领域涉及：H01S5/183；该发明授权垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法、芯片、激光雷达是由闻燕;陈顺利;赵波;赵亮;谷泓毅设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法、芯片、激光雷达在说明书摘要公布了：本发明涉及一种垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法、芯片、激光雷达，所述方法包括：提供一外延层，包括依次叠设在基底上的第一反射镜、有源层及第二反射镜；对外延层进行台面刻蚀，形成第一沟槽；在第一沟槽中形成第一电极；形成覆盖第一电极的第一钝化层；进行质子注入，形成质子注入区；形成覆盖第一钝化层的第二钝化层；形成将若干第二电极电性连接的金属连线层，金属连线层与第一电极之间通过第一钝化层和第二钝化层绝缘隔离。本发明的第一钝化层采用较薄的厚度以减轻其对形成质子注入区的质子注入的阻挡力度，且两层钝化层结构能够避免钝化层质量差，从而保证金属连线层与第一电极之间的有效隔离，降低器件失效短路的风险。

本发明授权垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法、芯片、激光雷达在权利要求书中公布了：1.一种垂直腔面发射激光器阵列的制造方法，包括： 提供一外延层；其中，所述外延层包括依次叠设在基底上的第一反射镜、有源层及第二反射镜； 对所述外延层进行台面刻蚀，形成第一沟槽；其中，所述第一沟槽露出所述第一反射镜的部分表面且将相邻的台面隔开，一个台面为一个垂直腔面发射激光器的一部分； 在所述第一沟槽中形成位于所述第一反射镜的部分表面上、且与所述第一反射镜电性连接的多个第一电极，若干第一电极位于靠近所述第一沟槽的第一侧壁的位置、若干第一电极位于靠近所述第一沟槽的第二侧壁的位置，所述第一侧壁和第二侧壁的位置相对； 形成覆盖所述第一电极的第一钝化层； 进行质子注入，质子向下穿过所述第一钝化层在靠近所述第一侧壁的第一电极和靠近所述第二侧壁的第一电极之间的第一反射镜中形成质子注入区； 形成覆盖所述第一钝化层的第二钝化层，所述第一钝化层的厚度小于所述第二钝化层的厚度； 形成将若干第二电极电性连接的金属连线层；所述金属连线层与若干所述第一电极之间通过所述第一钝化层和第二钝化层绝缘隔离； 其中，各所述第二电极是在形成所述金属连线层之前形成，各所述第二电极与所述第二反射镜电性连接，各所述第一电极与各所述第二电极的极性相反。

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