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龙图腾网获悉昆山英博尔电子科技有限公司申请的专利一种晶圆载片架获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542211B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411643925.8，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种晶圆载片架是由刘红军;秦东槐设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆载片架在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆载片架，涉及晶圆片生产技术领域。该晶圆载片架包括：晶圆片承载组件、滚动驱动组件和滚动上压组件。底部滚动支撑部安装在盒架内部底侧，盒架内部两侧设置有放置晶圆片的放置槽。固定支撑部安装在盒架侧部，转轴与固定支撑部转动设置，转轴外部固定套设有与放置槽一一对应的轮盘，转轴端部设置有转动连接部。滚动上压组件安装在盒架上限位晶圆片。盒架内部的晶圆片在上下作往复移动被清洗的同时，本位于放置槽内部的晶圆片区域在盒架作上下往复移动的同时，不需要额外的动力即能够完成转动，位于放置槽内部的晶圆片区域将随着转动脱出得以被清洗，实现盒架内部的晶圆片能被完全清洗，提升晶圆片清洗质量。

本发明授权一种晶圆载片架在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载片架，其特征在于，包括： 晶圆片承载组件1，所述晶圆片承载组件1包括盒架11和底部滚动支撑部12，所述底部滚动支撑部12安装在所述盒架11内部底侧，所述盒架11内部两侧设置有放置晶圆片的放置槽13，所述盒架11一侧设置有与放置槽13相连通的弧形槽14； 滚动驱动组件2，所述滚动驱动组件2包括浮板21、转轴22、固定支撑部25和条壳26，所述固定支撑部25安装在盒架11侧部，所述转轴22与固定支撑部25转动设置，且所述转轴22外部固定套设有与放置槽13一一对应的轮盘23，所述转轴22端部设置有转动连接部24，倾斜设置的所述条壳26底部和顶部分别连接有下杆27和上杆28，所述浮板21与下杆27底端固定连接，所述下杆27以及上杆28与固定支撑部25在竖直方向活动贯穿设置，清洗设备带动盒架11作上下往复移动，浮板21受到水的阻力将与盒架11形成移动的位移差，此位移差通过转动连接部24一端绕着条壳26内部路径转动，转动连接部24另一端将带动转轴22转动，轮盘23靠近盒架11一侧凸出至弧形槽14内部，轮盘23外侧面与晶圆片外侧面相接触，带动盒架11内部的晶圆片转动被清洗； 滚动上压组件3，所述滚动上压组件3安装在盒架11上限位晶圆片。

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