沈阳富创精密设备股份有限公司李翔获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种铸造铝合金晶圆加热盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023236U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422368428.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种铸造铝合金晶圆加热盘结构是由李翔;姜小蛟;杨旭;沙延鹏;胡显冰;刘昂;刘欢;安华;王壮设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铸造铝合金晶圆加热盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加热盘技术领域，具体是一种铸造铝合金晶圆加热盘结构，包括铸造盘体和shaft柱，铸造盘体包括一体铸造成型的盘体本体和金属加热器，金属加热器的加热部分在盘体本体内，金属加热器的接线端从shaft柱引出后将shaft柱焊接在盘体本体上；盘体本体为铸铝材料；铸造盘体选用Al‑Si‑Mg系；shaft柱采用铸铝材料铸造成型；铸造盘体和shaft柱采用压铸成型制成。该铸造铝合金晶圆加热盘结构在密封性、温度均匀性、制造成本、生产周期及产品一致性等方面均表现出显著的技术优势，为半导体制造行业提供了一种高效、可靠、经济的加热盘解决方案。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳富创精密设备股份有限公司，其通讯地址为：110000 辽宁省沈阳市浑南区飞云路18甲-1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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