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恭喜无锡展硕科技有限公司季中伟获国家专利权

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龙图腾网恭喜无锡展硕科技有限公司申请的专利一种半导体薄膜生产用真空蒸镀设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223016947U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422265041.5,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种半导体薄膜生产用真空蒸镀设备是由季中伟设计研发完成,并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体薄膜生产用真空蒸镀设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及应用于半导体薄膜生产领域的一种半导体薄膜生产用真空蒸镀设备,包括真空箱,真空箱的前端转动连接有密封门,真空箱的上端固定连接有电机,电机的输出端活动贯穿至真空箱内并固定连接有安装块,安装块内设有安装杆,安装杆的下端固定连接有伞状治具,安装块的右侧设有螺杆,螺杆的左端依次螺纹贯穿安装块和安装杆,通过设置多组加热组件,对坩埚的上下部进行加热,不仅提高加热效率,也可以有效避免蒸镀材在出口处凝结成固体,通过气体流量检测仪喷嘴进行气体流量监测,而压力传感器可对坩埚内的蒸镀材料容量进行监测,两者配合使用便于监测坩埚内部蒸镀材料容量以及喷嘴堵塞情况。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡展硕科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市会北路26-18;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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