恭喜安徽国芯智能装备有限公司章广飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽国芯智能装备有限公司申请的专利一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223022535U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422276925.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机是由章广飞;王运钢;薛业保;李文静设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机，属于光刻机技术领域，包括中空的载台与放置板，所述载台顶面开设有供放置板放置的放置槽，所述放置槽底面中部贯穿开设有通孔，所述通孔下方的载台内部上下滑动设有底板，所述底板顶面中部固定连接有在通孔内上下滑动的顶块。该光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机，通过底板带动连接杆下移，进而实现两侧四个定位杆上端同步向放置板处旋转，以此实现定位杆对放置板的定位，通过底板配合弹簧带动连接杆上移，实现定位杆对放置板的解锁后，底板上的顶块将放置板顶起，便于更换。相较现有的装置，避免了需要额外的辅助定位机构进行定位，降低了建造成本与维护成本。
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