恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司刘浩获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆搬运装置及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023235U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422210327.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆搬运装置及半导体加工设备是由刘浩;李琪;刘东平设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬运装置及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆搬运装置及半导体加工设备，包括搬运手臂，具有搬运端，所述搬运端用于搬运晶圆；多个限位销，活动设置于所述搬运端，用于在搬运过程中对晶圆限位；清洁环，活动套设于所述限位销；在工作状态下，所述限位销与所述清洁环相对运动，使所述清洁环对所述限位销侧壁进行清理。本发明能够减小限位销侧壁残留的胶对晶圆搬运过程的干涉，减小晶圆发生碎片掉片的可能。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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