上海积塔半导体有限公司施季松获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利用于拆装晶圆清洗设备中刷头的扭力扳手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223013025U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422172348.0，技术领域涉及：B25B13/46；该实用新型用于拆装晶圆清洗设备中刷头的扭力扳手是由施季松;杨俊男;闫晓晖设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于拆装晶圆清洗设备中刷头的扭力扳手在说明书摘要公布了：本实用新型提供了用于拆装晶圆清洗设备中刷头的扭力扳手，其包括：头部单元，具有容纳腔，在容纳腔内其设置有转动安装的刷头套筒，刷头套筒的内周面与刷头之间为防转动配合，使得刷头套筒带动刷头同步转动，刷头套筒的外周面设置为外齿部；棘爪结构，设置于容纳腔内，包括支撑部及与支撑部安装的第一棘爪部和第二棘爪部，支撑部通过转轴安装在头部单元，支撑部外接外部操作件，支撑部被配置为，在外部操作件带动下绕转轴转动，以使第一棘爪部和第二棘爪部选择性地与外齿部啮合；与头部单元连接的手柄单元。使用本实施方式的扭力扳手，操作人员无需穿过晶圆清洗设备的腔体，手拆刷头或手装刷头，这能够降低操作人员可能受到的安全隐患。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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