天合光能股份有限公司张福林获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利水冷屏和导流结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223017031U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422172012.4，技术领域涉及：C30B15/00；该实用新型水冷屏和导流结构是由张福林;马玉花;李亮;任杰设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本水冷屏和导流结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种水冷屏和导流结构，属于半导体工艺设备领域。水冷屏包括：内筒和外筒。内筒形成供气氛流通的通道，通道包括相连的第一段和第二段，第一段的流通面积从背离第二段的一端到靠近第二段的一端逐渐变小，第二段的流通面积从背离第一段的一端到靠近第一段的一端逐渐变小；外筒套设在内筒外，且与内筒形成供冷却介质冷却腔流通的冷却腔。通过改变水冷屏内筒结构，可以在内筒形成的通道内增大气氛流速，提高水冷屏的散热效率，从而提升拉晶允许的最高速率，并提升带走杂质的能力，同时可以在通道出口处减速到一个较为稳定的状态，帮助提升拉晶效率，并通过内筒和外筒之间的冷却腔，实现对内筒的有效冷却，从而确保设备稳定运行。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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