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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种工艺参数的确定方法、装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119180199B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411219024.6，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权一种工艺参数的确定方法、装置及半导体工艺设备是由杜佳佳;王晶;雷花;雷星;柴家乐设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工艺参数的确定方法、装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本说明书实施方式提供了一种工艺参数的确定方法、装置及半导体工艺设备，该工艺参数的确定方法包括：响应于用户输入的目标工艺信息，将所述目标工艺信息输入至目标网络模型；所述目标工艺信息包括待确定工艺配方所能达到的工艺结果；通过所述目标网络模型预测达到所述工艺结果所需的工艺参数；所述目标网络模型包括：基于胶囊网络构建的胶囊网络层；将所述目标网络模型输出的预测结果，确定为所述待确定工艺配方的工艺参数。本申请可以快速确定能够满足工艺需求的工艺参数，节省大量时间。同时，目标网络模型包括基于胶囊网络构建的胶囊网络层，使得目标网络模型集成了胶囊网络的特性，可以提升工艺参数的准确性。

本发明授权一种工艺参数的确定方法、装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺参数的确定方法，其特征在于，所述方法包括： 响应于用户输入的目标工艺信息，将所述目标工艺信息输入至目标网络模型；其中，所述目标工艺信息包括工艺设备按照待确定工艺配方进行工艺生产所能达到的工艺结果；所述工艺设备包括半导体工艺设备； 通过所述目标网络模型预测达到所述工艺结果所需的工艺参数；其中，所述目标网络模型包括：基于胶囊网络构建的胶囊网络层； 将所述目标网络模型输出的预测结果，确定为所述待确定工艺配方的工艺参数，以使所述工艺设备使用已经确定的待确定工艺配方进行工艺生产； 所述目标网络模型还包括：基于长短期记忆网络构建的长短期记忆网络层、基于注意力机制构建的注意力模块；其中，所述注意力模块的输入为所述目标工艺信息，所述长短期记忆网络层的输入为所述注意力模块的输出和所述胶囊网络层的输出的融合结果，所述长短期记忆网络层的输出为所述目标网络模型的输出； 通过所述目标网络模型预测达到所述工艺结果所需的工艺参数，包括： 通过所述胶囊网络层对所述目标工艺信息进行处理，生成目标数量的结果胶囊向量；其中，每一所述结果胶囊向量对应一工艺参数，且所述结果胶囊向量包括其对应的工艺参数的多个预测数值和每一所述预测数值的预测概率； 通过所述注意力模块对所述目标工艺信息进行处理，生成每一所述结果胶囊向量对应的上下文向量； 通过所述长短期记忆网络层的遗忘门、输入门、输出门以及输出层对所述结果胶囊向量和所述上下文向量的融合结果进行处理，得到达到所述工艺结果所需的工艺参数。

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