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龙图腾网恭喜浙江摩克激光智能装备有限公司申请的专利一种激光聚焦光斑位置定位与监测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119870772B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510379340.8，技术领域涉及：B23K26/70；该发明授权一种激光聚焦光斑位置定位与监测装置是由陈格知;李瑞彦;曹宇;吴让大;甘棕松;邱建荣设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光聚焦光斑位置定位与监测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种激光聚焦光斑位置定位与监测装置，对光学系统的结构设计，包含激光聚焦光路和等效反馈光路的结构设计，并将第一CCD组件与第二CCD组件协同配合使用，第一CCD组件采集的晶圆表面图形信息通过图像处理提取晶圆轮廓和表面微结构特征，为后续晶圆的定位和摆正提供高精度输入。第二CCD组件位于一维运动平台上，移动精度在微米量级，通过左右移动第二CCD组件来判断多个焦点在样品中的位置，第二CCD组件采集的反馈光路中的激光光斑图像信息通过图像处理提取激光光斑中心坐标及半径，反向标定晶圆内部焦点深度，从而间接监测晶圆内部激光光斑。另外，基于深度强化学习动态调整第二CCD组件位置，实现自动寻焦。

本发明授权一种激光聚焦光斑位置定位与监测装置在权利要求书中公布了：1.一种激光聚焦光斑位置定位与监测装置，其特征在于，包括激光器、第一光路结构、空间光调制器、第一分光镜、第一聚焦物镜、第二聚焦物镜、第一透镜、第一CCD组件、第二CCD组件、第一运动平台、晶圆、第二运动平台和控制系统； 所述激光器发出激光束后，经第一光路结构偏转、调制后入射至空间光调制器，激光束通过空间光调制器后生成多焦点光斑，再经第一分光镜分成一路聚焦光路和一路反馈光路，聚焦光路经第一聚焦物镜聚焦后进入第一运动平台上放置的晶圆内部进行激光隐形切割作业，第一CCD组件用于采集晶圆表面图像信息、定位晶圆位置； 反馈光路经第二聚焦物镜聚焦后，再经第一透镜，最后进入至第二CCD组件中，通过第二运动平台带动第二CCD组件沿光轴方向左右移动，第二CCD组件同步采集反馈光路中的各焦点对应的光斑图像，并提取激光光斑圆中心坐标和半径； 所述控制系统包括图像处理模块、算法处理模块和信号控制模块，所述图像处理模块并行执行图像处理过程，根据第一CCD组件采集的晶圆表面图像信息和第二CCD组件采集的反馈光路中的激光光斑图像信息，分别获取晶圆轮廓与表面微结构特征和激光光斑圆中心坐标和半径，所述算法处理模块集成晶圆定位摆正算法和深度强化学习寻焦算法，所述信号控制模块基于所述算法处理模块的算法结果控制晶圆的定位摆正以及基于算法训练模型控制第二CCD组件的横向移动进行自动寻焦，第二CCD组件实时观察到焦点位置处的激光光斑并得到晶圆激光隐切的切割深度，从而实时定位与监测隐切光斑。

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