恭喜应用材料公司克里斯托弗·马尔姆斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于热处理的设备、基板处理系统、用于在基板处理期间支撑基板的载体、和用于感应加热在基板处理系统中的载体的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113874544B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980096786.2，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权用于热处理的设备、基板处理系统、用于在基板处理期间支撑基板的载体、和用于感应加热在基板处理系统中的载体的方法是由克里斯托弗·马尔姆斯设计研发完成，并于2019-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于热处理的设备、基板处理系统、用于在基板处理期间支撑基板的载体、和用于感应加热在基板处理系统中的载体的方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于在基板处理系统中的载体的热处理的设备。所述设备包括加热布置，所述加热布置被配置为向所述载体提供热能，所述加热布置包括一个或多个线圈。
本发明授权用于热处理的设备、基板处理系统、用于在基板处理期间支撑基板的载体、和用于感应加热在基板处理系统中的载体的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在基板处理系统中的载体212的热处理的设备200，所述设备200包括： 加热布置240，所述加热布置被配置为在所述载体的附近，并且被配置为在所述载体的一侧处向所述载体提供热能，在所述载体的所述一侧处发生朝向基板的沉积，所述基板由所述载体支撑，所述加热布置包括： 一个或多个线圈，并且 其中所述载体具有用于支撑基板230的基板接收区域232，和在所述基板接收区域232外部延伸的一个或多个边缘部分214，其中所述加热布置被配置为向所述一个或多个边缘部分214提供热能，排除所述基板接收区域232。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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