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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术有限公司申请的专利传送机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112133665B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011029712.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权传送机械手是由周亮设计研发完成，并于2020-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本传送机械手在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头，正电荷端头和电子端头均设于支撑部；所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置。本发明提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置，使得电场均匀分布，有助于晶圆均匀受力，保证晶圆稳定传送，还有助于减小对晶圆的损伤。

本发明授权传送机械手在权利要求书中公布了：1.一种传送机械手，其特征在于，包括： 基体，包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径； 电源，包括正极端和负极端； 静电发生装置，连接于电源，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部；所述正电荷端头与所述电子端头在同一所述预设路径上交替设置； 所述电源与所述静电发生装置之间设置换向部件，所述换向部件处于第一状态，所述正电荷端头连接所述正极端，所述电子端头连接所述负极端；所述换向部件处于第二状态，所述正电荷端头连接所述负极端，所述电子端头连接所述正极端； 所述支撑部设有晶圆接触器，所述晶圆接触器凸出于所述支撑部的表面，所述晶圆接触器的底部设有压力传感器； 还包括中央处理器，所述电源和所述压力传感器均连接于所述中央处理器，所述中央处理器内存储有所述静电发生装置的输入电压与所述压力传感器的输出电压之间的关系模型，所述电源停止向所述静电发生装置供电，根据所述关系模型和所述压力传感器的输出电压，获得所述静电发生装置的输入电压，并切换所述换向部件的状态，使得所述电源向所述静电发生装置供给所述输入电压。

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