恭喜广东工业大学高健获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东工业大学申请的专利一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111667878B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010657100.7,技术领域涉及:G12B5/00;该发明授权一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台是由高健;赖文秀;陈国聪;张揽宇;刘亚超;钟永彬;罗于恒;林华文设计研发完成,并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台在说明书摘要公布了:一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台,包括中心移动平台、固定机构、桥式微位移放大机构、柔性移动副与压电陶瓷;固定机构设于相邻桥式微位移放大机构之间,关于中心移动平台的正负X轴与Y轴对称;桥式微位移放大机构对称设于中心移动平台正负X轴与Y轴上,包括两第一纵梁、两第二纵梁以及多个横梁;两第一纵梁平行间距分布;两第二纵梁间距设于两第一纵梁之间且通过横梁连接第一纵梁;横梁通过柔性移动副连接各纵梁;压电陶瓷设于两第一纵梁的输入端之间;靠近中心移动平台的第二纵梁设有输出端;输出端通过柔性移动副连接中心移动平台与固定机构。本申请提供的解耦微定位平台能够在MicroLED芯片修复过程中,对缺陷位置进行精准定位。
本发明授权一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台在权利要求书中公布了:1.一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台,其特征在于,包括中心移动平台、多个固定机构、多个桥式微位移放大机构、多个柔性移动副与压电陶瓷; 所述中心移动平台于以自身为中心的正负X轴以及正负Y轴上分别对称设置有所述桥式微位移放大机构; 多个所述固定机构分别一一对应设置于相邻所述桥式微位移放大机构之间,且关于以所述中心移动平台为中心的正负X轴和或正负Y轴对称分布; 所述桥式微位移放大机构包括至少两第一纵梁、至少两第二纵梁以及多个横梁; 两所述第一纵梁之间平行且间距分布; 两所述第二纵梁设置于两所述第一纵梁之间,且正对所述中心移动平台方向间距设置; 两所述第二纵梁分别通过所述横梁与所述第一纵梁连接; 各所述横梁分别通过柔性铰链与所述第一纵梁以及所述第二纵梁连接; 所述压电陶瓷设于两所述第一纵梁之间,且分别与所述第一纵梁的输入端连接; 两所述第二纵梁中靠近所述中心移动平台的所述第二纵梁上设有输出端; 所述输出端分别通过所述柔性移动副与所述中心移动平台以及所述固定机构连接。
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