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东丽工程株式会社阵田敏行获国家专利权

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龙图腾网获悉东丽工程株式会社申请的专利转印装置和转印装置的位置校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115398609B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180024782.0,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权转印装置和转印装置的位置校正方法是由阵田敏行设计研发完成,并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

转印装置和转印装置的位置校正方法在说明书摘要公布了:本发明提供转印装置和转印装置的位置校正方法,能够在不累计测定误差的情况下,对以激光的照射位置为基准的转印基板保持部的位置、被转印基板保持部的位置以及元件测定摄像头的位置进行测定。具体而言,转印装置1具备激光照射部2、转印基板保持部6、被转印基板保持部10、元件测定摄像头14、保持部测定摄像头16以及控制部18,将保持于转印基板C1的元件转印到被转印基板C2。转印基板保持部6具有转印基板用基准标记9b,被转印基板保持部10具有标注在荧光玻璃上的被转印基板用基准标记13b。元件测定摄像头14构成为能够拍摄转印基板用基准标记9b和被转印基板用基准标记13b,保持部测定摄像头16构成为能够同时拍摄向荧光玻璃照射了激光L时的荧光发光点F和被转印基板用基准标记13b。

本发明授权转印装置和转印装置的位置校正方法在权利要求书中公布了:1.一种转印装置,具备: 激光照射部,其向保持于转印基板的元件照射激光; 转印基板保持部,其保持所述转印基板,使保持于所述转印基板的元件向所述激光的照射位置移动; 被转印基板保持部,其将被转印基板保持成与保持于所述转印基板的所述元件具有间隙而对置,使所述被转印基板向所述元件的转印位置移动; 元件测定摄像头,其测定保持于所述转印基板的元件相对于所述激光的照射位置的相对位置; 保持部测定摄像头,其测定所述转印基板保持部相对于所述激光的照射位置的相对位置以及所述被转印基板保持部相对于所述激光的照射位置的相对位置中的至少一方;以及 控制部,其对所述激光照射部、所述转印基板保持部以及所述被转印基板保持部进行控制,使得将所述元件从所述转印基板分离并朝向所述被转印基板施力而进行转印, 所述转印装置将保持于所述转印基板的元件转印到所述被转印基板, 其中, 所述转印基板保持部具有转印基板用基准标记, 所述被转印基板保持部具有被转印基板用基准标记,该被转印基板用基准标记被标注在通过所述激光的照射发出荧光的荧光发光部件上, 所述元件测定摄像头构成为能够拍摄所述转印基板用基准标记和所述被转印基板用基准标记, 所述保持部测定摄像头构成为能够同时拍摄向标注有所述被转印基板用基准标记的荧光发光部件照射了激光时的荧光发光点和所述被转印基板用基准标记。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东丽工程株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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