应用材料公司安德烈·布鲁宁获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于载体运输组件的辊子、基板处理系统、维护基板处理系统的方法、以及制造装置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116635994B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080108015.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于载体运输组件的辊子、基板处理系统、维护基板处理系统的方法、以及制造装置的方法是由安德烈·布鲁宁;克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;蒋开云;拉尔夫·林登贝格;奥利弗·海默尔;栗田真一设计研发完成，并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于载体运输组件的辊子、基板处理系统、维护基板处理系统的方法、以及制造装置的方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于载体运输组件的辊子。所述辊子包括辊子主体，所述辊子主体是可旋转的并且具有基板支撑表面；辊子壳套，所述辊子壳套围绕所述辊子的一部分；及所述辊子壳套的捕集表面，所述捕集表面具有面向所述辊子的至少第一表面部分。
本发明授权用于载体运输组件的辊子、基板处理系统、维护基板处理系统的方法、以及制造装置的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于载体运输组件的辊子，包含： 辊子主体，所述辊子主体是可旋转的并且具有基板支撑表面，其中所述基板支撑表面在使用所述辊子运输载体期间接触所述载体的轨道； 辊子壳套，所述辊子壳套围绕所述辊子的至少一部分；和 所述辊子壳套的捕集表面，所述捕集表面具有面向所述基板支撑表面的至少第一表面部分，以捕集从所述辊子释放的颗粒。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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