代尔夫特理工大学;应用材料以色列公司P·库鲁伊特获国家专利权
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龙图腾网获悉代尔夫特理工大学;应用材料以色列公司申请的专利具有对准方式的多束带电粒子源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114631163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080073321.8，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权具有对准方式的多束带电粒子源是由P·库鲁伊特设计研发完成，并于2020-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有对准方式的多束带电粒子源在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于生成多个基本上准直的带电粒子子束的装置和方法。该装置包括用于生成发散带电粒子束的带电粒子源、用于将所述带电粒子束拆分为带电粒子子束的阵列的分束器、包括偏转器的阵列的偏转器阵列，该偏转器的阵列包括针对所述带电粒子子束的阵列的每个带电粒子子束的一个偏转器，其中偏转器阵列被配置为用于基本上准直发散带电粒子子束的阵列。该装置还包括光束操纵设备，其被配置为用于至少在带电粒子源和偏转器阵列之间的区域中生成电场和或磁场。该装置包括中心轴，并且该光束操纵设备被配置为生成基本上平行于中心轴和基本上垂直于中心轴的电场和或磁场。
本发明授权具有对准方式的多束带电粒子源在权利要求书中公布了：1.一种用于生成多个带电粒子子束的装置，包括： 用于生成发散带电粒子束的带电粒子源， 分束器，用于将所述带电粒子束拆分为带电粒子子束的阵列， 偏转器阵列，包括偏转器的阵列，所述偏转器的阵列包括针对所述带电粒子子束的阵列的每个带电粒子子束的一个偏转器，其中所述偏转器阵列被配置为用于准直发散带电粒子子束的阵列，以及 光束操纵设备，其被配置为用于至少在所述带电粒子源和所述偏转器阵列之间的区域中生成电场和或磁场，其中所述电场和或磁场被配置为用于优化所述偏转器阵列上的所述带电粒子子束的对准， 其中装置包括中心轴，其中所述带电粒子源、所述分束器的中心和所述偏转器阵列的中心布置在所述中心轴上，并且其中所述光束操纵设备被配置为用于生成： 垂直于所述中心轴的电场，和或 垂直于所述中心轴的磁场。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人代尔夫特理工大学;应用材料以色列公司，其通讯地址为：荷兰代尔夫特；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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