东京毅力科创株式会社北邨友志获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112447479B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010849988.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法是由北邨友志设计研发完成，并于2020-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法。等离子体处理系统的控制装置执行收集工序、第一确定工序、第二确定工序以及点火工序。在收集工序中，关于同电力供给部与等离子体之间的阻抗的匹配有关的各个可调节的变量的值，收集表示阻抗的匹配状态的测定值。在第一确定工序中，确定相对于从与各个变量对应的点到匹配点的向量的、测定值的变化的斜率最大的变量的值所对应的通过点，所述匹配点为与阻抗最匹配的状态下的测定值对应的点。在第二确定工序中，将包括通过点和匹配点的直线上的比通过点更远离匹配点的点确定为控制的开始点。在点火工序中，从开始点沿直线向匹配点控制各个变量，由此在等离子体处理装置内使等离子体点火。
本发明授权等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理系统，具备： 等离子体处理装置，其具有收容基板的处理容器，通过在处理容器内生成等离子体来对所述基板实施等离子体处理；以及 控制装置，其控制所述等离子体处理装置， 其中，所述控制装置执行以下工序： 收集工序，关于同向所述等离子体供给高频电力的电力供给部与所述等离子体之间的阻抗的匹配有关的各个可调节的变量的值，收集表示所述电力供给部与所述等离子体之间的阻抗的匹配状态的测定值； 第一确定工序，将相对于从与各个所述变量对应的点到匹配点的向量的、所述测定值的变化的斜率最大的所述变量的值所对应的点确定为通过点，所述匹配点为与所述阻抗最匹配的状态下的所述测定值对应的点； 第二确定工序，将包括所述通过点和所述匹配点的直线上的比所述通过点更远离所述匹配点的点确定为控制的开始点；以及 点火工序，控制各个所述变量，以使所述测定值从所述开始点沿所述直线向所述匹配点变化，由此在所述等离子体处理装置内使等离子体点火。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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