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龙图腾网获悉扬州奕丞科技有限公司申请的专利一种MEMS探针成型激光处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119304382B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411652999.8，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权一种MEMS探针成型激光处理方法是由周敏;熊烱声;赖生雄;张子仁;张京伟设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS探针成型激光处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开了半导体领域内的一种MEMS探针成型激光处理方法，包括如下步骤：S1、通过显微镜测量金属原材料上切割道一和切割道二之间的夹角，并分别测量在切割道一方向、切割道二方向上过切的长度A、长度B；S2、在制图软件中将切割道一、切割道二延长并相交于一点；S3、判断比较长度A、长度B的值，将长度A、长度B中较大的值作为圆的半径绘制圆形，使得圆形与切割道一、切割道二均相切；S4、将圆形与切割道一、切割道二相切的两点之间的圆弧保留，去除圆形的其他部分弧线，使得圆弧与切割道一、切割道二相连，作为一条完整的修正切割道。本发明避免了因激光切割时的拐角过切现象，提升加工效率与工件质量，工艺成本低。

本发明授权一种MEMS探针成型激光处理方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS探针成型激光处理方法，其特征在于，包括如下步骤： 预切割步骤S01：在制图软件中绘制切割路线图；所述制图软件为CAD，所述切割路线图中包括多个探针的单元切割轨迹线； 试切割步骤S02：先激光试切割一个探针的单元切割轨迹线，通过显微镜观察单元切割轨迹线在由切割道一、切割道二组成的拐角处是否存在过切，若存在，则进行步骤S1；若不存在，则按照割路线图正常切割； S1、通过显微镜测量金属原材料上切割道一和切割道二之间的夹角，并分别测量在切割道一方向、切割道二方向上过切的长度A、长度B； S2、在制图软件中将切割道一、切割道二延长并相交于一点； S3、判断比较长度A、长度B的值，将长度A、长度B中较大的值作为圆的半径绘制圆形，使得圆形与切割道一、切割道二均相切； S4、将圆形与切割道一、切割道二相切的两点之间的圆弧保留，去除圆形的其他部分弧线，使得圆弧与切割道一、切割道二相连，作为一条完整的修正切割道； 所述步骤S4后，按照制图软件中的修正切割道对待切割原材料进行激光切割；所述圆弧处与切割道一、切割道二处的激光切割速度、切割功率均相同；所述切割道一、切割道二相垂直；设置该MEMS探针所需的金属原材料厚度为40um，根据该材料厚度设置激光切割功率为0.4w，加工速度为10mms。

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