买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海世禹精密机械有限公司申请的专利晶圆显微镜检查机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458448B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211286997.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆显微镜检查机是由赵凯;梁猛;林海涛;卢升;李兵设计研发完成，并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆显微镜检查机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆显微镜检查机，包含：晶圆盒、搬运模块、晶圆观察模块与晶圆显微镜；晶圆盒用于存储晶圆；晶圆观察模块设置在晶圆盒的一侧，用于观察晶圆；晶圆显微镜设置在晶圆盒的另一侧，用于对晶圆进行检测模拟；搬运模块设置在晶圆盒的一侧，用于搬运晶圆。本发明解决了现有技术中存在的人工成本高、工作效率低的缺陷，用于对不同型号的晶圆进行观测，具有工作效率高、加工成本低、加工精度高、生产良率高的特点。

本发明授权晶圆显微镜检查机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆显微镜检查机，其特征在于，包含：晶圆盒、搬运模块、晶圆观察模块与晶圆显微镜； 所述晶圆盒用于存储晶圆； 所述晶圆观察模块设置在所述晶圆盒的一侧，用于观察所述晶圆； 所述晶圆显微镜设置在所述晶圆盒的另一侧，用于对所述晶圆进行检测； 所述搬运模块设置在所述晶圆盒的一侧，用于搬运所述晶圆； 所述搬运模块包含：安装板、第一承载支架、第一机械手、第二机械手与第三机械手； 所述安装板设置在所述晶圆盒的一侧； 所述第一承载支架滑动设置在所述安装板上； 所述第一机械手设置在所述第一承载支架上，用于将所述晶圆盒中的晶圆传递至所述晶圆观察模块； 所述第二机械手设置在所述第一承载支架上，用于在所述晶圆观察模块的内部传递所述晶圆； 所述第三机械手设置在所述第一承载支架上，用于所述晶圆观察模块内部的晶圆传递至所述晶圆显微镜上； 所述晶圆观察模块包含：第二承载支架、摄像头、夹持组件与晶圆陈列器； 所述第二承载支架设置在所述晶圆盒的一侧； 所述摄像头设置在所述第二承载支架上，用于观察所述晶圆； 所述夹持组件设置在所述第二承载支架的一侧，用于承载所述晶圆； 所述晶圆陈列器设置在所述夹持组件的一侧，用于调整所述晶圆的放置方向； 所述夹持组件包含：一对第三承载支架、升降机构与夹持机构； 所述一对第三承载支架对称设置在所述第二承载支架的一侧，所述一对第三承载支架位于所述第二承载支架与所述搬运模块之间； 所述一对升降机构分别设置在所述一对第三承载支架上； 所述一对夹持机构分别设置在所述一对升降机构的执行端，用于夹持固定所述晶圆；所述晶圆观察模块还包含：一对光栅传感器，任一个所述光栅传感器设置在所述第二承载支架上，另一个所述光栅传感器设置在所述夹持组件的一侧，所述一对光栅传感器的位置相对应。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海世禹精密机械有限公司，其通讯地址为：201615 上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。