中山大学王钢获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115293067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210968280.X，技术领域涉及：G06F30/28；该发明授权一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统是由王钢;王杰;裴艳丽;罗铁成;何宜聪设计研发完成，并于2022-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统，该方法包括：对MOCVD反应腔进行CFD建模，生成CFD模型；确定工艺参数取值范围并利用CFD模型进行模拟仿真实验，得到模拟仿真工艺参数和模拟仿真结果；根据模拟仿真工艺参数和模拟仿真结果进行建模，生成神经网络模型；基于神经网络模型将异常生长结果与工艺参数进行匹配，得到异常工艺参数。该系统包括：CFD构建模块、模拟仿真模块、神经网络构建模块和匹配模块。通过使用本发明，能够快速精准地找出异常工艺参数且提高效率。本发明作为一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统，可广泛应用于MOCVD异常检测领域。
本发明授权一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD设备生长结果异常溯源方法，其特征在于，包括以下步骤： 对MOCVD反应腔进行CFD建模，生成CFD模型； 确定工艺参数取值范围并利用CFD模型进行模拟仿真实验，得到模拟仿真工艺参数和模拟仿真结果； 根据模拟仿真工艺参数和模拟仿真结果进行建模，生成神经网络模型； 基于神经网络模型将异常生长结果与工艺参数进行匹配，得到异常工艺参数；具体包括如下步骤： 基于控制变量法设置多组工艺参数值； 将工艺参数值依次输入神经网络模型，得到预测结果； 基于均方误差公式将预测结果与异常生长结果进行比较，得到最小均方误差值； 基于概率公式对不同工艺参数的最小均方误差值进行计算，得到异常工艺参数。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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