上海集成电路研发中心有限公司康晓旭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司申请的专利热电偶传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300607B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111647179.6，技术领域涉及：H10N10/17；该发明授权热电偶传感器及其制备方法是由康晓旭;钟晓兰;蒋宾设计研发完成，并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本热电偶传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种热电偶传感器及其制备方法。所述热电偶传感器的衬底内设置有内腔结构和阻挡结构，所述阻挡结构围设于所述内腔结构的开口端部，避免了使用复杂的背面工艺形成背腔，有效降低了工艺成本；通过所述阻挡结构控制所述内腔结构的顶部开口范围，有利于提高集成度。
本发明授权热电偶传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种热电偶传感器，其特征在于，包括： 衬底，包括设置于所述衬底内的阻挡结构和内腔结构，以及设置于所述衬底顶面的若干释放通道； 所述阻挡结构围设于所述内腔结构的开口端部； 所述内腔结构通过所述若干释放通道与外部相通； 热电偶结构，设置于所述衬底顶面，所述热电偶结构与所述内腔结构对应设置，并使所述若干释放通道露出；所述内腔结构包括顶部内腔结构与底部内腔结构，所述阻挡结构围设于所述内腔结构的开口端部形成顶部内腔结构，所述底部内腔结构与所述顶部内腔结构相通；所述顶部内腔结构内侧壁所围区域的任一径向截面范围小于所述底部内腔结构内侧壁所围区域的任一径向截面范围。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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