中北大学;中北大学南通智能光机电研究院王俊强获国家专利权
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龙图腾网获悉中北大学;中北大学南通智能光机电研究院申请的专利一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112285378B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011129449.X，技术领域涉及：G01P5/12；该发明授权一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片是由王俊强;李孟委;高经武;刘佳政设计研发完成，并于2020-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片在说明书摘要公布了：一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片，传感器包括：玻璃衬底，玻璃衬底上开设有多个玻璃通孔，玻璃通孔内设置有导热金属；测温组件，设置在玻璃衬底上表面且位于玻璃通孔顶部，用于检测电阻的变化；加热组件，设置在玻璃通孔底部，用于产生测量基准温度；以及互连组件，设置在互连组件两侧，导出测温组件的电信号。本发明的有益效果在于，本发明采用双面布局的形式，玻璃衬底上表面分布有检测单元测温，下表面设置有加热电阻加热，加热电阻发出的热量能够以最短的距离传导至石墨烯测温单元处，减少了单面布局的传感器热量由衬底表面传导至衬底背面的时间，因此能够大幅度的提高测风的精度、灵敏度以及响应速率。
本发明授权一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片在权利要求书中公布了：1.一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片，可以在风速0-30ms的环境下正常工作，其特征在于，所述传感器包括： 玻璃衬底16，所述玻璃衬底16上开设有多个玻璃通孔，所述玻璃通孔内设置有导热金属11； 测温组件，设置在所述玻璃衬底16上表面且位于玻璃通孔顶部，用于检测电阻的变化； 加热组件，设置在所述玻璃通孔底部，用于产生测量基准温度； 以及互连组件，设置在互连组件两侧，导出测温组件的电信号。
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