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龙图腾网获悉无锡诚承电子科技有限公司申请的专利一种离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119985339B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510457727.0，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权一种离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统是由方明江;蔡成振设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统，涉及无损检测技术领域，包括，选择测量光源采集反射光强度数据，使用斯托克斯矢量表示偏振光的强度分布，计算椭偏参数并确定折射角数据，通过菲涅耳公式计算复折射率并确定折射率和消光系数，分析材料的整体复介电常数；进行晶体材料区域划分，使用非线性回归法得到优化区域复介电常数，结合区域占比值构建三层复合介质模型。本发明所述方法通过计算斯托克斯参数，能够通过数值分析揭示材料内部的微观不均匀性，提高对损伤区域的解析度，通过对晶体材料区域划分，能够在离子注入后精确地区分晶态硅、非晶硅和应变硅的分布情况，提高对材料微观结构变化的解析能力。

本发明授权一种离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种离子注入缺陷高精度无损检测方法，其特征在于，包括： 选择测量光源采集反射光强度数据，使用斯托克斯矢量表示偏振光的强度分布，计算椭偏参数并确定折射角数据，通过菲涅耳公式计算复折射率并确定折射率和消光系数，分析材料的整体复介电常数； 进行晶体材料区域划分，使用非线性回归法得到优化区域复介电常数，结合区域占比值构建三层复合介质模型，通过拉格朗日优化法优化计算区域占比值的最优解，进行深度分层傅里叶变换，得到深度域中的复介电常数分布，对不同层的复介电常数分布数据进行积分计算，确认归一化权重计算不同层的材料占比值； 基于DNN构建深度学习模型，使用贝叶斯优化方法优化模型参数，进行材料缺陷分布预测，并进行预测匹配度预测； 对预测数据进行数据加密并进行安全存储； 所述进行晶体材料区域划分，计算区域占比值的最优解，确认归一化权重计算不同层的材料占比值，包括： 在离子注入过程中，针对硅材料的晶体结构划分为晶态硅区域、非晶硅区域以及应变硅区域，基于实验数据分别确定晶态硅、非晶硅以及应变硅对应的复介电常数，其中从数据库中分别获取晶态硅、非晶硅和应变硅在不同波长下的初始复介电常数值，使用非线性回归方法设定优化目标为三个复介电常数与整体复介电常数的误差最小，并使用牛顿迭代法进行优化迭代，直至迭代误差不再明显变化时，停止迭代并确定三个复介电常数； 根据三个复介电常数分别与对应晶态硅、非晶硅以及应变硅占比的值乘积的和作为整体复介电常数，构建三层复合介质模型，其中、以及分别表示晶态硅、非晶硅以及应变硅的占比值； 通过拉格朗日优化法，设定最大化复介电常数模型的拟合度的目标，优化计算、以及的最优解； 对整体复介电常数进行深度分层傅里叶变换A-FFT，得到深度域中的复介电常数分布； 基于傅里叶变换后的复介电常数分别提取短波长、中波长和长波长对应的数据进行逆傅里叶变换，分别得到表面层、中等深度层和深层材料的复介电常数分布，并根据不同层的复介电常数分布数据的积分值计算，确定各层的归一化权重； 根据不同层的归一化权重，计算与拉格朗日优化法得到的、以及的最优占比值的乘积，分别得到不同层的材料占比值，并进行归一化验证。

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