买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利接触式测量器及晶圆减薄设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119952610B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510428497.5，技术领域涉及：B24B49/02；该发明授权接触式测量器及晶圆减薄设备是由路新春;赵德文;马帅;陈超设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本接触式测量器及晶圆减薄设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种接触式测量器及晶圆减薄设备。接触式测量器包括：第一安装座，其构造有安装孔；第一测杆，安装至安装孔，并水平延伸至承载台上方，其末端设置有第一测头，第一测杆能够在安装孔中升降以使第一测头接触晶圆并随晶圆厚度的变化而升降；防护气管及防护液管，防护气管构造有沿其长度延伸的开口向下的通气槽，防护液管构造有沿其长度延伸的开口向下的通液槽，通气槽向下出气形成气帘以阻挡加工碎屑进入安装孔，通液槽向下出液形成液帘以阻挡穿过气帘的加工碎屑进入安装孔。本申请的技术方案能够有效减少碎屑在安装孔处的堆积，避免干涉测杆移动，从而提高测量准确性。

本发明授权接触式测量器及晶圆减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种接触式测量器，其特征在于，所述接触式测量器配置成在晶圆减薄设备中接触晶圆的表面以测量晶圆的厚度，其包括： 第一安装座，其设置在真空吸附晶圆的承载台侧方，并构造有安装孔； 第一测杆，其安装至所述安装孔，并水平延伸至所述承载台上方，所述第一测杆的末端设有竖直延伸的第一测头，所述第一测杆配置成能够在所述安装孔中升降以使所述第一测头接触所述晶圆并在晶圆加工过程中随晶圆厚度的变化而升降； 分别与所述第一安装座和所述第一测杆结构相同的第二安装座和第二测杆，所述第二测杆的末端设有竖直延伸的第二测头，所述第二测头配置成接触所述承载台，所述接触式测量器基于所述第一测头测量的所述晶圆表面的高度和所述第二测头测量的所述承载台表面的高度之差得到所述晶圆的厚度； 防护气管及防护液管，二者位于所述安装孔和所述第一测头之间，在所述第一测杆、所述第二测杆上方垂直于所述第一测杆水平延伸且分别与第一测杆、第二测杆呈十字交叉状，所述防护气管比所述防护液管靠近所述第一测头；所述防护气管和所述防护液管分别构造有沿各自长度延伸的开口向下的通气槽和通液槽，所述通气槽配置成向下出气形成不间断的气帘以阻挡加工碎屑进入所述安装孔，所述通液槽配置成向下出液形成不间断的液帘以阻挡穿过所述气帘的加工碎屑进入所述安装孔； 设在所述第一测头上的压力传感器，其朝向携带加工碎屑的气流的来流方向并配置成检测携带加工碎屑的气流的压力；所述防护气管电连接到致动器，所述致动器基于携带加工碎屑的气流的压力致动所述防护气管绕其轴线转动，以调节所述通气槽与竖直面的夹角； 所述防护液管的轴线到所述承载台表面的投影与所述晶圆的外圆周到所述承载台表面的投影相切，以使所述液帘冲洗所述晶圆的边缘与所述承载台接触处的加工碎屑；所述通气槽的出气气压为0.3到0.7MPa且所述通液槽的出液流速为1-2Lmin；所述第一安装座中构造有与所述安装孔流体连通的出气通道，所述出气通道配置成向所述安装孔吹气以吹出进入所述安装孔的加工碎屑或液滴。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科(北京)科技有限公司，其通讯地址为：100000 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。