西安福莱电工合金有限公司何建国获国家专利权
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龙图腾网获悉西安福莱电工合金有限公司申请的专利一种基于磁控溅射方法的铜触点镀膜工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119932504B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510422957.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种基于磁控溅射方法的铜触点镀膜工艺是由何建国;何东继;杨瑾设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于磁控溅射方法的铜触点镀膜工艺在说明书摘要公布了：本发明属于材料表面处理技术领域，具体涉及一种基于磁控溅射方法的铜触点镀膜工艺；本发明改善了铜触点的预处理工艺，通过机械抛光、溶剂清洗以及酸洗使得铜触点表面平滑光亮；并在铜触点表面依次沉积氮化钛层与银铱铈混合金属层，提高了铜触点的硬度；本发明工艺工序少、效率高，得到的镀层硬度高、结合力好。
本发明授权一种基于磁控溅射方法的铜触点镀膜工艺在权利要求书中公布了：1.一种基于磁控溅射方法的铜触点镀膜工艺，其特征在于，包括如下步骤： （1）对铜触点基体表面进行预处理，预处理包括机械抛光、溶剂清洗以及酸洗，得预处理后的铜触点基体； （2）将预处理后的铜触点基体转入真空炉内，抽气至本底真空度，通入氩气并调节气压，进行辉光清洗，得辉光清洗后的铜触点基体； （3）抽气至本底真空度，通入氩气，采用磁控溅射在辉光清洗后的铜触点基体表面沉积氮化钛层，得沉积了氮化钛层的铜触点基体； （4）抽气至本底真空度，通入氩气，采用磁控溅射在沉积了氮化钛层的铜触点基体表面沉积银铱铈混合金属层，结束沉积，得样品； （5）将样品进行退火处理，得铜触点； 所述步骤（1）中，将铜触点基体表面经机械抛光至表面粗糙度Ra为0.2μm~0.5μm后，置入乙醇溶剂中超声清洗5~10min，再置入丙醇溶剂中超声清洗15~20min，然后置入酸液中浸泡3~5min，水洗，氮气吹干； 所述酸液由如下质量份组分组成：3~8份盐酸、8~15份柠檬酸、2~5份羟基乙叉二膦酸、1~3份乙二胺四乙酸、0.5~1份硫脲、0.1~0.2份聚乙烯吡咯烷酮、45~55份水； 所述步骤（3）中，沉积氮化钛层的靶材为氮化钛靶材。
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