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龙图腾网获悉成都数之联科技股份有限公司申请的专利一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119919402B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510400607.7，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法及系统是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法及系统，涉及缺陷检测技术领域，所述方法流程为：首先基于检测图像和模板图像获取差分图像；然后基于差分图像对检测图像和模板图像进行灰度值提取，并且根据灰度值提取结果计算缺陷区域的穿透率；再对检测图像进行线路分割处理，并且基于差分图像对线路分割图像进行相交定位，以获取交集区域图像；再对差分图像和交集区域图像进行几何运算，以得到缺陷宽度和线路宽度，并且基于缺陷宽度和线路宽度计算缺陷区域的覆盖比率；最后根据缺陷区域的穿透率和覆盖比率对缺陷严重程度进行综合判定。解决了现有晶圆外观缺陷检测无法对缺陷影响程度进行度量，容易出现过检的问题。

本发明授权一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于图像分割和图像差分的晶圆缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括以下流程： 对晶圆产品的检测图像以及模板图像进行像素差分处理，以得到差分图像； 基于差分图像对检测图像以及模板图像的缺陷区域进行灰度值提取，以得到缺陷灰度值以及正常灰度值，并且根据缺陷灰度值以及正常灰度值计算缺陷区域的穿透率； 所述缺陷区域的穿透率计算公式如下： P＝1-Vmax-VminVmax 其中，Vmax、Vmin表示缺陷灰度值以及正常灰度值中相对较大值、较小值； 对晶圆产品的检测图像进行线路分割处理，以得到线路分割图像；并且基于差分图像对线路分割图像的线路区域进行相交定位，以得到交集区域图像； 对差分图像以及交集区域图像进行几何运算，以得到缺陷的几何参数以及线路的几何参数，并且基于缺陷的几何参数和线路的几何参数计算缺陷区域的覆盖比率； 其中，对差分图像以及交集区域图像进行几何运算，以得到缺陷的几何参数以及线路的几何参数的流程如下： 对交集区域图像的线路区域进行宽度计算，以得到线路宽度； 对差分图像以及交集区域图像进行图像配准，以使得差分图像以及交集区域图像空间对齐； 对空间对齐的差分图像以及交集区域图像进行逻辑运算，以保留两图像素值相同的像素点区域，并且对像素值相同的像素点区域进行宽度计算，以得到缺陷宽度； 所述缺陷区域的覆盖比率的计算公式如下： W＝W2W1 其中，W2表示缺陷宽度，W1表示线路宽度； 根据缺陷区域的穿透率和覆盖比率对缺陷严重程度进行综合判定，以得到晶圆缺陷影响程度的综合检测结果。

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