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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112786512B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911085484.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置是由陶晓峰;贾社娜;韩阳;王晖设计研发完成，并于2019-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种旋转轴及包含旋转轴的基板支撑装置，旋转轴包括：设有通气管道的中心转轴；设置于中心转轴的外围的中空外轴，且中空外轴与中心转轴具有设定的间距；环绕中空外轴内壁且连通通气管道的导气槽；设置于中空外轴且连通导气槽的供气管道；成对设置于中心转轴的密封环凸，通气管道进气口在中心转轴轴线方向上位于成对的密封环凸之间；成对设置于中空外轴的密封环槽，导气槽在中心转轴轴线方向上位于成对的密封环槽之间；密封环凸嵌设于密封环槽中。本发明通过在旋转轴中的导气槽与供气管道的邻近位置设置密封环凸与密封环槽，在确保中心转轴与中空外轴不会直接接触的同时，也增强了旋转轴密封结构的密封性，提升了装置的工艺稳定性。

本发明授权旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转轴，其特征在于，包括： 中心转轴，所述中心转轴的内部设有通气管道，所述通气管道的进气口设置于所述中心转轴的外壁，所述通气管道的出气口设置于所述中心转轴轴线方向上的一端； 中空外轴，所述中空外轴环绕所述中心转轴的轴线方向设置于所述中心转轴的外围，且所述中空外轴的内壁与所述中心转轴的外壁之间具有设定的间距； 所述中空外轴的内壁设有导气槽，所述导气槽环绕所述中心转轴的轴线方向设置，并连通所述通气管道的进气口； 所述中空外轴还设有供气管道，所述供气管道的进气口设置于所述中空外轴的外壁，所述供气管道的出气口连通所述导气槽； 所述中心转轴还具有成对设置的密封环凸，所述密封环凸环绕所述中心转轴的轴线方向设置于所述中心转轴的外壁，且所述通气管道的进气口在所述中心转轴的轴线方向上位于成对设置的所述密封环凸之间；所述中空外轴还具有成对设置的密封环槽，所述密封环槽环绕所述中心转轴的轴线方向设置于所述中空外轴的内壁，且所述导气槽在所述中心转轴的轴线方向上位于成对设置的所述密封环槽之间；所述密封环凸嵌设于所述密封环槽中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛美半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。