长鑫存储技术有限公司许婷婷获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利版图的修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114077159B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010846878.2，技术领域涉及：G03F1/72；该发明授权版图的修正方法是由许婷婷设计研发完成，并于2020-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本版图的修正方法在说明书摘要公布了：本申请具体涉及一种版图的修正方法，包括：提供初始版图；对所述初始版图进行扩展得到扩展版图；对所述扩展版图进行修正得到修正版图；基于所述修正版图得到目标版图。采用上述实施例中的版图的修正方法对版图修正后，OPC的可靠性更高，关键尺寸均匀，不会引起晶圆上的光刻胶层轮廓的波动，从而确保产品的良率。
本发明授权版图的修正方法在权利要求书中公布了：1.一种版图的修正方法，其特征在于，包括： 提供初始版图； 对所述初始版图进行扩展得到扩展版图； 对所述扩展版图进行修正得到修正版图； 基于所述修正版图得到目标版图； 其中，所述初始版图包括中心版图和周边版图，所述周边版图围绕于所述中心版图单元的外侧； 基于所述周边版图的尺寸与光学直径的关系对所述初始版图进行扩展； 当所述周边版图的尺寸小于所述光学直径时，对所述中心版图进行二维扩展以及对所述周边版图进行一维扩展得到扩展版图； 所述扩展版图包括所述中心版图以及周边扩展版图，所述周边扩展版图包括扩展的周边版图以及扩展的中心版图。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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