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中芯集成电路(宁波)有限公司黄河获国家专利权

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龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司申请的专利薄膜体声波谐振器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113938110B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010675097.1,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权薄膜体声波谐振器及其制造方法是由黄河设计研发完成,并于2020-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

薄膜体声波谐振器及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及薄膜体声波谐振器及其制造方法,其中,薄膜体声波谐振器包括:叠置的引出电极、压电层和外接电极,有效谐振区包括引出电极、压电层和外接电极在垂直于压电层表面方向上相互重叠的区域,有效谐振区的外部为无效区;第一介质层,第一介质层的表面与引出电极的表面之间设有第一间隙;引出电极从有效谐振区延伸出第一间隙的部分为第一引出部;第二介质层,第二介质层的表面与外接电极的表面之间设有第二间隙;外接电极位于第二间隙围成的区域内或者二者边界重合;导电柱,一端连接于外接电极,另一端连接有第二引出部,第二引出部从有效谐振区延伸出第二间隙;引出电极和外接电极其中之一位于另一上方。

本发明授权薄膜体声波谐振器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种薄膜体声波谐振器,其特征在于,包括: 叠置的引出电极、压电层和外接电极,有效谐振区包括所述引出电极、压电层和外接电极在垂直于所述压电层表面方向上相互重叠的区域,所述有效谐振区的外部为无效区; 第一介质层,所述第一介质层的表面与所述引出电极的表面之间设有第一间隙; 所述引出电极从所述有效谐振区延伸出所述第一间隙的部分为第一引出部; 第二介质层,所述第二介质层的表面与所述外接电极的表面之间设有第二间隙; 所述外接电极位于所述第二间隙围成的区域内或者二者边界重合; 导电柱,一端连接于所述外接电极,另一端连接有第二引出部,所述第二引出部从所述有效谐振区延伸出所述第二间隙; 所述引出电极和所述外接电极其中之一位于另一上方; 所述压电层包括谐振部和位于所述谐振部外周的搭接部,所述谐振部至少部分位于所述有效谐振区,所述搭接部位于所述有效谐振区外,所述谐振部与所述搭接部相接或分离; 位于所述搭接部的所述压电层的两侧表面分别与所述第一介质层和第二介质层的表面接触; 所述导电柱设置于所述有效谐振区的边界处; 所述导电柱设置在所述第二间隙的边界处或,所述导电柱与所述第二间隙的边界设有距离或,一部分所述导电柱设置在所述第二间隙边界处,另一部分所述导电柱与所述第二间隙的边界设有距离; 所述导电柱在所述压电层方向上的投影为封闭或间断的环形; 所述第二引出部埋设于所述第二介质层中; 在所述有效谐振区外部,所述第二引出部和所述第一引出部在所述压电层方向上的投影相互错开。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司,其通讯地址为:315800 浙江省宁波市北仑区小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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