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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置方法及柔性波导获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111610007B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010578058.X，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置方法及柔性波导是由莫泽;延英;徐凡颀;卢恒;陈风楠设计研发完成，并于2020-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置方法及柔性波导在说明书摘要公布了：本发明属于微波和光学领域，为解决极低温下纳米谐振器振动模式难以测量的问题，公开了一种测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置方法及柔性波导，纳米谐振器安装在PCB电路板上，固定在低温恒温器内的五轴位移器上，并通过柔性波导和同轴线与激励电源和频率测试装置通信。激励电源产生激励信号使纳米谐振器发生振动。激光器产生的激光经调节，入射到低温恒温器中。移动五轴位移器，使激光照射到纳米谐振器的不同部位均匀分布的若干个点上。通过各点反射光强度的变化，得到该点处纳米谐振器薄膜与衬底的距离，绘制出纳米谐振器的振动模式。

本发明授权测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置方法及柔性波导在权利要求书中公布了：1.一种测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置，其特征在于，包括：激光器、调节光路、半透半反镜、光强测量装置、低温恒温器、五轴位移器、控制器、纳米谐振器、PCB电路板、若干柔性波导、同轴线、激励电源、频率测量装置、若干导线： 其中：所述的低温恒温器包括恒温腔，恒温腔内部以及外部均设置若干个微波传输接口； 所述的五轴位移器、PCB电路板、纳米谐振器均置于恒温腔中； PCB电路板设置于五轴位移器上； 纳米谐振器置于PCB电路板上，并与PCB电路板通过导线连接，用于传输激励信号和振动信号； PCB电路板与恒温腔内部的微波传输接口之间通过柔性波导连接； 恒温腔外部的微波传输接口与所述的激励电源以及频率测量装置之间均通过同轴线连接； 五轴位移器与恒温腔外部的控制器通过导线相连，用于传输控制信号； 激光器发出的激光经调节光路和半透半反镜入射到恒温腔中，从纳米谐振器反射的光透过半透半反镜入射到光强测量装置；所述的激励电源、同轴线、恒温腔外部的微波传输接口、恒温腔内部的微波传输接口、柔性波导、PCB电路板和纳米谐振器依次连接构成闭合回路； 纳米谐振器、柔性波导、恒温腔内部的微波传输接口、恒温腔外部的微波传输接口、同轴线、频率测量装置依次连接构成闭合回路； 所述的调节光路包括：可调衰减片、单模光纤、双凸透镜聚焦系统；激光器发出的激光经过衰减片衰减后，再经过单模光纤选模，最后通过双凸透镜聚焦系统，激光的束腰位于恒温腔内的纳米谐振器附近； 在五轴位移器上预留螺孔，在PCB电路板对应位置也留有螺孔，用螺丝将PCB电路板固定在五轴位移器上；五轴位移器带动PCB电路板和纳米谐振器实现俯仰、偏转和平移。

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