东京毅力科创株式会社森川胜洋获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利干燥装置、基板处理系统以及干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111952216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010380682.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权干燥装置、基板处理系统以及干燥方法是由森川胜洋设计研发完成，并于2020-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本干燥装置、基板处理系统以及干燥方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种干燥装置、基板处理系统以及干燥方法。提供一种能够在基板的干燥时抑制凹凸图案的图案倒塌的技术。一种干燥装置，其是在利用液膜覆盖了基板的形成有凹凸图案的上表面之后使所述基板干燥的干燥装置，其具有：第1传热部，其被温度调整为第1温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；第2传热部，其被温度调整为与所述第1温度不同的第2温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；以及控制部，其控制所述第1温度和所述第2温度，而控制所述液膜的表面张力分布，从而控制所述液膜的凝聚。
本发明授权干燥装置、基板处理系统以及干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种干燥装置，其是在利用液膜覆盖了被水平地保持的基板的形成有凹凸图案的上表面之后使所述基板干燥的干燥装置，其中， 该干燥装置具有： 第1传热部，其形成为板状并被水平地配置在所述基板的上方或下方，在与所述基板之间形成有用于传递热的空气层，被温度调整为第1温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热； 第2传热部，其形成为板状并被水平地配置在所述基板的上方或下方，在与所述基板之间形成有用于传递热的空气层，被温度调整为比所述第1温度低的第2温度，利用温度差在其与所述基板之间传递热；以及 控制部，其控制所述第1温度和所述第2温度，而控制所述液膜的表面张力分布，从而控制所述液膜的凝聚， 其中，所述第1传热部和所述第2传热部在向所述干燥装置送入所述基板的方向上以所述第2传热部和所述第1传热部的顺序排列配置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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