沈阳芯源微电子设备股份有限公司洪旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利涂胶显影设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112582318B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910944293.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权涂胶显影设备是由洪旭东设计研发完成，并于2019-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂胶显影设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种涂胶显影设备包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，第一工艺模块和第二工艺模块的一端与片盒模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块的另一端与接口模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块可以相互独立工作，节约了维护时间，提高了生产效率，第一工艺模块和第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，第一层间工艺机械手、第二层间工艺机械手和层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数，能够实现多个晶圆的搬运，提高了生产效率。
本发明授权涂胶显影设备在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的一端与所述片盒模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的另一端与所述接口模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，所述第一层间工艺机械手、所述第二层间工艺机械手和所述层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组所述末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数； 所述层内工艺机械手组自下而上分别包括结构相同的第一层内工艺机械手、第二层内工艺机械手和第三层内工艺机械手； 所述第一层内工艺机械手包括第一竖直滑部、第一水平滑部和第一执行器台座，所述第一竖直滑部设置于所述第一水平滑部的上侧，且所述第一竖直滑部与所述第一水平滑部滑动连接，所述第一执行器台座设置于所述第一竖直滑部的一侧； 所述片盒模块包括片盒机械手和片盒组，所述片盒机械手设置于所述片盒组和所述第一工艺模块之间。
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