辛耘企业股份有限公司林雅雯获国家专利权
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龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利剥离装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112838022B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911157279.3,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权剥离装置是由林雅雯;李威震设计研发完成,并于2019-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本剥离装置在说明书摘要公布了:一种剥离装置,适用于将相贴合的保护片及基板分离,该剥离装置包含吸附机构及驱动机构。吸附机构包括承载模块、第一吸引模块及第二吸引模块。承载模块具有载座及连接件。第一吸引模块设于载座且靠近连接件处并用以真空吸附于该保护片的靠近边缘处。第二吸引模块与第一吸引模块相间隔而较远离连接件。驱动机构包括机座、线性移动元件及连动件。线性移动元件设于机座且在一倾斜方向延伸。连动件与连接件固定连接且可受线性移动元件驱动沿倾斜方向往复移动,并带动吸附机构沿倾斜方向移动,而能将保护片自边缘处开始逐步与基板分离,如此能大幅降低该保护片碎裂及该基板受损的风险。
本发明授权剥离装置在权利要求书中公布了:1.一种剥离装置,适用于将相贴合的保护片及基板分离,其特征在于:该剥离装置包含: 吸附机构,包括 承载模块,具有载座及连接件,该载座水平设置且具有端部,该连接件连接于该端部的上表面, 第一吸引模块,设于该载座且靠近该连接件处,并具有位于该载座下方的第一吸盘组件,该第一吸盘组件用以真空吸附于该保护片的靠近边缘处,及 第二吸引模块,设于该载座且位于用以对应吸附该保护片中心的位置,该第二吸引模块与该第一吸引模块相间隔而较远离该连接件,并具有位于该载座下方的第二吸盘组件,该第二吸盘组件用以与该第一吸盘组件共同真空吸附于该保护片;及 驱动机构,包括 机座,可受操作地在上下方向移动, 线性移动元件,设于该机座且在相对于该上下方向倾斜的倾斜方向延伸,及 连动件,与该连接件固定连接且能受该线性移动元件驱动沿该倾斜方向往复移动,并带动该吸附机构沿该倾斜方向移动。
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