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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利一种半导体结构的制造方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-02-08发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2021112773778，技术领域属于H01L21/027(20060101)；该专利一种半导体结构的制造方法是由广东省大湾区集成电路与系统应用研究院设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。 本申请提供了一种半导体结构的制造方法，该方法包括：提供衬底；在衬底上形成硬掩膜层；在硬掩膜层上形成光阻层；光刻光阻层形成至少一个第一沟槽；第一沟槽贯穿光阻层；对第一沟槽的至少一个光阻层侧壁进行粒子注入；蚀刻硬掩膜层形成至少一个第二沟槽；第二沟槽贯穿硬掩膜层。由于对光阻进行了粒子注入，改性了光阻，减少了进行蚀刻时，光阻被蚀刻而产生并沉积在硬掩膜层上的产物，从而减少了不同方向的图形特征尺寸微缩程度的差异，可以准确得到需要的图形特征尺寸，从而提高了器件的性能。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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