一种具有多孔结构的铂族合金纳米颗粒及其制备方法
专利号：201711278568X已下证
申请日：
2017-12-06
发布日期：2024-11-01
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专利摘要
本发明公开了一种具有多孔结构的铂族合金纳米颗粒及其制备方法，制备过程主要包括衬底表面预处理、表面合金薄膜和合金纳米颗粒的制备、合金纳米颗粒的解元多孔化等步骤，最终得到具有多孔结构的铂族合金纳米颗粒，本发明利用合金组元刻蚀的方法，在控制纳米颗粒粒径大小密度的同时，通过合金组分的增减，调节孔径大小密度，从而调节纳米结构的表面粗糙度，获得可控的纳米颗粒表面积，弥补了现行物理气相淀积制备中，金属纳米颗粒表面积不可调节的缺陷，减少了铂族金属的使用代价，提升使用效率，降低整体方案的成本，该制备方法可集成于集成电路设计工艺之中，适用于光电器件的表面光学性质调控。
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