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申请/专利权人：长安大学

摘要：本发明公开了一种LOVE波型微量物质质量的测量装置，包括在同一压电基片材料上制作的一个输入叉指换能器、两个相同的输出叉指换能器、输入叉指换能器的第一电极、输入叉指换能器的第二电极、输出叉指换能器的第一电极、输出叉指换能器的第二电极，以及覆盖在输入叉指换能器、输出叉指换能器和压电基片上的LOVE波波导层；输入叉指换能器的第一电极、输入叉指换能器的第二电极、输出叉指换能器的第一电极和输出叉指换能器的第二电极的末端均从LOVE波波导层中伸出；两个输出叉指换能器分别对称设置在输入叉指换能器的左、右两侧，输入叉指换能器与输出叉指换能器之间的区域为测量区域。本发明结构简单，能够实现对毫克以及毫克以下物质质量的测量。

主权项：一种LOVE波型微量物质质量的测量装置，其特征在于，包括在同一压电基片材料1上制作的一个输入叉指换能器2、两个相同的输出叉指换能器3、输入叉指换能器的第一电极5、输入叉指换能器的第二电极6、输出叉指换能器的第一电极7、输出叉指换能器的第二电极8，以及覆盖在输入叉指换能器2、输出叉指换能器3和压电基片1上的LOVE波波导层4；所述输入叉指换能器的第一电极5、输入叉指换能器的第二电极6、输出叉指换能器的第一电极7和输出叉指换能器的第二电极8的末端均从LOVE波波导层4中伸出；所述两个输出叉指换能器3分别对称设置在输入叉指换能器2的左、右两侧，输入叉指换能器2与输出叉指换能器3之间的区域为测量区域9；所述的LOVE波波导层4采用体横波速度、密度均小于压电基片材料1体横波速度、密度的材料；所述的输入叉指换能器2与两个输出叉指换能器3之间的间距相等，均为1微米到5厘米；所述的输入叉指换能器的第一电极5、输入叉指换能器的第二电极6、输出叉指换能器的第一电极7和输出叉指换能器的第二电极8从LOVE波波导层4伸出的长度均大于1微米；所述的LOVE波波导层4的厚度h的计算公式为：h=VSVL4fVS2-VL2---1]]式中，厚度h指LOVE波波导层4在水平高度上高出压电基片材料1的距离，单位：米；VS是在压电基片材料1上传播的声表面波速度，单位：米秒；VL是在LOVE波波导层4中传播的LOVE波速度，单位：米秒；f为所设计器件的中心频率，单位：赫兹；所述的输入叉指换能器2与输出叉指换能器3具有相同尺寸的声孔径，该声孔径的尺寸为压电基片材料1上声表面波波长的60倍到100倍。

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