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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2018-02-13
公开（公告）日：2018-10-09
公开（公告）号：CN108621533A
专利技术分类：.用机械或化学方法除去层或层的一部分[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种即便在层叠基材的左右的端缘部的长度存在差的情况下，在剥离辊的搬送方向上游侧的位置上，也可以抑制层叠基材中产生松弛的基材处理装置及基材处理方法。所述装置具有吸附辊、剥离辊及导入部。导入部将层叠有电解质膜与支撑膜的层叠基材导入至吸附辊与剥离辊之间。另外，基材处理装置具有空气气缸。空气气缸向吸附辊上按压剥离辊。但是，层叠基材可相对于剥离辊的外周面进行滑动。因此，即便在层叠基材的左右的端缘部的长度存在差的情况下，通过层叠基材的滑动，所述长度的差也被吸收。因此，在剥离辊的搬送方向上游侧的位置上，可抑制层叠基材中产生松弛。
专利权项：1.一种基材处理装置，其一面搬送长条带状的被处理基材一面进行处理，其特征在于，包括：吸附辊，具备具有多个吸附孔的外周面；导入部，向所述吸附辊的外周面导入层叠有长条带状的支撑膜与所述被处理基材的层叠基材；剥离辊，具有隔着所述层叠基材与所述吸附辊的所述外周面对向的外周面；以及按压机构，向所述吸附辊上按压所述剥离辊；在所述层叠基材穿过所述吸附辊与所述剥离辊之间后，将所述支撑膜从所述被处理基材上剥离并朝远离所述吸附辊的方向搬送，另一方面，将所述被处理基材吸附保持在所述吸附辊上，所述层叠基材相对于所述剥离辊的外周面可滑动地得到保持。
百度查询： 株式会社斯库林集团 基材处理装置及基材处理方法
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