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申请/专利权人：松下电器产业株式会社
申请日：2002-12-13
公开（公告）日：2006-08-09
公开（公告）号：CN1268954C
专利技术分类：...以制作方法为特征的集成光路[2006.01]
专利摘要：本发明提供了光学晶体制法、掩模、掩模制法及光学器件制法。在现有的具有单一周期的光学晶体的情况下，必须按光轴对齐或以光波导中转来串联地连接各波长的光学晶体。鉴于这一问题，本发明提供了这样一种解决方案。沿同一基底，孔按二维周期排列的二维周期结构具有在共同的基本格子矢量方向多个排列的构造。将所述各二维周期结构的孔的形状和周期不同的复合周期结构体作为掩模，在平板型波导的薄膜芯部上叠加所述掩模。借助通过所述掩模向薄膜芯部注入离子束，可将所述掩模的二维的多周期构造传递给所述薄膜芯部。
专利权项：1.一种光学晶体制造方法，包括：第一步，提供一预定的膜片供制造一光学晶体；以及第二步，在一掩模上照射预定的粒子或电磁波，该掩模具有按照为各区域预定的一周期结构而排列的通道部分和一保持所述通道部分的掩模基底，其中，所述掩模构制成满足以下条件，a当在所述第二步中用所述粒子照射时，所述粒子基本通过所述通道部分，或者b当在所述第二步中用所述电磁波照射时，按照所述周期结构通过衍射效果在所述膜片上产生一能量密度差，所述排列的方向对应于所述光学晶体的基本格子矢量的方向，并且对应于所述各区域中的至少一个所述基本格子矢量的所述方向在所有所述区域上保持恒定。
百度查询： 松下电器产业株式会社 光学晶体制法、掩模、掩模制法及光学器件制法
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