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掩膜版及掩膜组专利

发布时间:2020-09-04 10:34:27 来源:龙图腾网 导航: 龙图腾网> 最新专利技术> 掩膜版及掩膜组

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申请/专利权人:成都中电熊猫显示科技有限公司

申请日:2020-05-27

公开(公告)日:2020-08-18

公开(公告)号:CN111552125A

专利技术分类:.....液晶分子的表面诱导取向,例如借助列向层[2006.01]

专利摘要:本发明提供一种掩膜版及掩膜组,其中,掩膜版包括掩膜版本体和遮光件,掩膜版本体包括曝光区和位于曝光区两侧的拼接区,掩膜版本体具有掩膜图形区域,遮光件包括用于遮挡掩膜图形区域的第一遮光件和第二遮光件,第一遮光件与曝光区对应设置,并可相对于曝光区移动,以改变掩膜图形区域在曝光区内的遮挡区域,第二遮光件与拼接区对应设置,并可相对于拼接区移动,以改变掩膜图形区域在拼接区内的遮挡区域,从而能够调节掩膜版本体的开口率大小,能够改善现有的掩膜组由于光源之间存在误差而导致的Mura问题。

专利权项:1.一种掩膜版,其特征在于,包括掩膜版本体和遮光件,所述掩膜版本体包括曝光区和位于所述曝光区两侧的拼接区,所述掩膜版本体具有掩膜图形区域;所述遮光件包括用于遮挡所述掩膜图形区域的第一遮光件和第二遮光件;所述第一遮光件与所述曝光区对应设置,并可相对于所述曝光区移动,以改变所述掩膜图形区域在所述曝光区内的遮挡区域;所述第二遮光件与所述拼接区对应设置,并可相对于所述拼接区移动,以改变所述掩膜图形区域在所述拼接区内的遮挡区域。

百度查询: 成都中电熊猫显示科技有限公司 掩膜版及掩膜组

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