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申请/专利权人:上海新微技术研发中心有限公司
摘要:本发明涉及光电子技术领域,尤其涉及一种具有脊波导结构的GePb激光器及其形成方法。所述具有脊波导结构的GePb激光器,包括硅衬底以及位于所述硅衬底表面的脊波导结构;其中,所述脊波导结构包括:下接触层,位于所述硅衬底表面;有源层,凸设于所述下接触层表面,所述有源层采用Pb掺杂的Ge材料构成;上接触层,位于所述有源层表面。本发明有效提高了激光器的发射效率。
主权项:1.一种具有脊波导结构的GePb激光器,其特征在于,包括硅衬底以及位于所述硅衬底表面的脊波导结构;其中,所述脊波导结构包括:下接触层,位于所述硅衬底表面;有源层,凸设于所述下接触层表面,所述有源层采用Pb掺杂的Ge材料构成;上接触层,位于所述有源层表面。
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百度查询: 上海新微技术研发中心有限公司 具有脊波导结构的GePb激光器及其形成方法
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