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申请/专利权人：株式会社尼康
申请日：2019-10-31
公开（公告）日：2021-06-08
公开（公告）号：CN112930242A
专利技术分类：
专利摘要：加工系统包括：照射光学系统，将来自光源的能量射束照射至物体；物体载置装置，载置物体；受光装置，设于物体载置装置，接受来自照射光学系统的能量射束；以及测量装置，对所述受光装置以及与所述受光装置相关的部位的位置中的至少一者进行测量。加工系统使物体载置装置移动至受光装置可接受能量射束的位置，并且使物体载置装置移动至可由测量装置来对受光装置的位置进行测量的位置。进而，加工系统使用与受光装置接受能量射束时的物体载置装置的位置相关的第一信息、及与使用测量装置来测量受光装置时的物体载置装置的位置相关的第二信息，来控制由加工装置进行加工时的物体载置装置的位置、与由测量装置进行测量时的物体载置装置的位置。
专利权项：1.一种加工系统，其特征在于，包括：照射光学系统，将来自光源的能量射束照射至物体；物体载置装置，载置所述物体；受光装置，设于所述物体载置装置，接受来自所述照射光学系统的所述能量射束；测量装置，对所述受光装置及与所述受光装置相关的部位中的至少一者进行测量；移动装置，使所述物体载置装置移动；以及控制装置，至少控制所述移动装置，所述控制装置以如下方式控制所述移动装置：使所述物体载置装置移动至所述受光装置能够接受来自所述照射光学系统的所述能量射束的位置，并且使所述物体载置装置移动至能够由所述测量装置来测量所述至少一者的位置，所述控制装置使用第一信息及第二信息，来控制由所述照射光学系统进行照射时的所述物体载置装置的位置、与由所述测量装置进行测量时的所述物体载置装置的位置中的至少一者，所述第一信息与所述受光装置接受所述能量射束时的所述物体载置装置的位置相关，所述第二信息与使用所述测量装置来测量所述至少一者时的所述物体载置装置的位置相关。
百度查询： 株式会社尼康 加工系统以及加工方法
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