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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日：2020-08-27
公开（公告）日：2021-08-10
公开（公告）号：CN213915194U
专利技术分类：...用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13）（使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20）（超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10）[2006.01]
专利摘要：本实用新型公开了一种超声波清洗漕结构，包括：内槽体用于容置清洗液和被清洗晶圆，被清洗晶圆浸泡于清洗液中；外槽体底部形成有内槽体安装孔，内槽体自内槽体安装孔进入外槽体，外槽体与内槽体之间形成容置空间，自内槽体溢出的清洗液能被容置于外槽体和内槽体之间的容置空间；多个扩散喷嘴形成有内槽体内侧壁，其用于将化学清洗液喷射向被清洗晶圆；每个扩散喷嘴设有独立控制扩散喷嘴控制阀或所有扩散喷嘴设有统一的扩散喷嘴控制阀。本实用新型能实现对清洗槽的彻底清洗，清洗效果好且有保障，可有效改善金属研磨后对产品的清洗效果，提高集成电路芯片产品的良品率和产品均一性。
专利权项：1.一种超声波清洗漕结构，其用于集成电路晶圆金属工艺研磨后清洗，其特征在于，包括：内槽体，其用于容置清洗液和被清洗晶圆，被清洗晶圆浸泡于清洗液中；外槽体，其底部形成有内槽体安装孔，内槽体自内槽体安装孔进入外槽体，外槽体与内槽体之间形成容置空间，自内槽体溢出的清洗液能被容置于外槽体和内槽体之间的容置空间；多个扩散喷嘴，其形成在内槽体的内侧壁，其用于将化学清洗液喷射向其对侧的内槽体侧壁；其中，每个扩散喷嘴设有独立控制扩散喷嘴控制阀或所有扩散喷嘴设有统一的扩散喷嘴控制阀。
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 超声波清洗漕结构
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