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一种基于Fabry–Pérot腔的透射式超构表面多光谱成像仪 

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申请/专利权人:湖南大学

摘要:本发明公开了一种基于Fabry–Pérot腔的透射式超构表面多光谱成像仪,包括CMOS、FP腔超构表面滤波片。FP腔超构表面滤波片包括透明基底、金属层、介质层、微纳结构等,其连接主要由各层材料的粘附性实现,无需所提工艺之外的额外工序。入射光通过FP腔超构表面滤波片透射特定波长即滤波,透射光到达CMOS图像处理器上由CMOS记录经过滤波的光信号强度,进行光谱重建。本发明拥有更多的自由度来调控滤波性能,同时大大减少了加工的难度,有利于拓展滤波通道,提高多光谱成像仪的性能。本发明实现了透射式滤波,使CMOS在处理光强数据的时候更加简单,提高了多光谱成像仪的处理速度。

主权项:1.一种基于Fabry–Pérot腔的透射式超构表面多光谱成像仪,其特征在于:包括CMOS1、FP腔超构表面滤波片2;FP腔超构表面滤波片包括透明基底4、金属层、介质层6、微纳结构7;金属层分为第一金属层51、第二金属层52;透明基底4、微纳结构6和介质层7顺次布置,微纳结构6的顶部与底部上分别设有第一金属层51和第二金属层52;连接由各层材料的粘附性实现。

全文数据:

权利要求:

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