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申请/专利权人：株式会社安川电机
申请日：2020-05-21
公开（公告）日：2022-01-21
公开（公告）号：CN113966548A
专利技术分类：..用于传送的，例如在不同的工作站之间[2006.01]
专利摘要：搬送设备包括多个机器人和移动缓冲器。多个机器人被固定在具有减压大气的搬送室的室内并且搬送基板，该搬送室包括设置有以水平取向布置的多个处理室的侧壁。移动缓冲器能够保持基板并沿着沿处理室的布置方向的轨道移动。机器人包括第一机器人和第二机器人。第一机器人被固定到负载锁定室和最靠近负载锁定室的处理室‑即第一处理室、和第一机器人可以搬送基板的位置。第二机器人被固定在第二机器人能够与不同于第一处理室的至少一个第二处理室交换基板的位置。移动缓冲器在俯视图中在侧壁与机器人之间移动，并经过第一机器人和基板可交换的位置以及第二机器人和基板可交换的位置。
专利权项：1.一种搬送设备，所述搬送设备包括：多个机器人，所述多个机器人被固定在具有减压大气的搬送室中，所述多个机器人被配置为搬送基板，其中，所述搬送室包括侧壁，并且所述侧壁设置有以水平取向布置的多个处理室；以及移动缓冲器，所述移动缓冲器被配置为保持所述基板并且沿着沿所述多个处理室的布置方向的轨道移动，其中，所述多个机器人包括：第一机器人，所述第一机器人被固定在适于将所述基板移入和移出负载锁定室和所述多个处理室中的第一处理室的位置，其中，所述第一处理室是最靠近所述负载锁定室的处理室；以及第二机器人，所述第二机器人被固定到适于将所述基板移入和移出所述多个处理室中的与所述第一处理室不同的至少一个第二处理室的位置，并且其中，所述移动缓冲器被配置为在俯视图中在所述侧壁与所述机器人之间移动并且经过适于将所述基板移入和移出所述第一机器人的位置和适于将所述基板移入和移出所述第二机器人的位置。
百度查询： 株式会社安川电机 搬送设备、搬送方法和搬送系统
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